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Parylene真空涂覆技術是獨特的聚對二甲苯材料系列的統稱,屬于一種具有完全線形、高度結晶的高聚物。 N型Parylene是對二甲苯的高聚物,在各類Parylene中具有最強的滲透能力,能夠有效地在各種細縫或盲孔表面形成薄膜。它的介電常數極低(2.65)及耗散因子小,且隨外界頻率的增加變化不大;同時具有最佳的潤滑效果,主要用于橡膠、光學領域。 在對二甲苯鏈的側環上添加一個氯原子,就得到了C型Parylene。C型Parylene具有非常低的水分子和腐蝕性氣體的透過率,沉積生長速率也比N型快得多,相應的滲透能力也差于N型;是目前應用最廣,防護效果最好的Parylene。 D型是在對二甲苯鏈的側環上擁有兩個氯原子的Parylene,因而在更高溫度下具有相對更好的物理及電性能,同時與N、C型相比,具有更好的熱穩定性; Parylene的熱分解起源于苯環兩側的C-C鍵,通過將二甲基上的H原子替換為F原子,就得到HT型Parylene真空涂覆,目前還未商品化,但HT型所擁有的大于420的使用溫度和最低的介電常數,使其在航空及半導體領域具有廣泛的應用前景。
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