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1) 空壓系統（用戶自備）：
原料空氣經壓縮機壓縮至所需壓力，輸入空氣緩沖罐，為制氮裝置提供壓縮氣源。
2) 凈化系統：
從空氣緩沖罐出來的壓縮空氣首先經過高效除油器旋風過濾除去大部分油、水、塵埃后，進入冷凍式干燥機，通過換熱降溫使壓縮空氣的露點低于-20℃，除去大量的水分，再經精密過濾器進一步過濾，使含油量≤0.1ppm，含塵量≤0.1μm，***后經過催化凈化器除去酸、堿性等有害氣體及微油霧。
3) 吸附系統：
經凈化處理后的壓縮空氣首先通過空氣儲罐后，送入填裝吸附劑(碳分子篩)的A、B(大設備為四塔，分兩組同時運行)吸附塔。壓縮空氣由A塔底端進入，氣流經底部磁球擴散以后，均勻進入吸附劑層，O₂、H₂O及少量N₂被吸附，產品氮氣從出口流出。經過一段時間，當A塔吸附飽和后，二塔均壓后切換工作，B塔吸附，A塔放空減壓(至常壓)，同時一小部分產品氮氣回吹沖洗，脫除所吸附的雜質組分。二個吸附塔交替循環吸附和再生，連續輸出產品氮氣。
4) 緩沖系統：
從吸附系統出來的氮氣送入氮氣緩沖罐，再經過精密過濾器除塵(過度精度≤0.01μm)，通過調壓閥調節壓力、節流閥調節流量后輸出。同時由流量計和氮氣分析儀分別檢測氮氣流量與純度，確保產出合格氮氣。