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176 系列 — 測量顯微鏡
MF 測量顯微鏡具有可擴展性,如與三豐
Vision Unit 一起使用可提高其性能,或者可
在 PC 中進行數據管理,從而確保提高效率。
特點
? 亮視場觀察、清晰的無閃爍的正像、以
及寬闊的視場范圍。
? 長工作距離目鏡,倍率可達 100X (總倍率:
2000X)。
? 透射照明孔徑光闌和反射照明系統為標
準性能配置。
XY 工作臺選擇 (行程范圍)
? 快速釋放系統,特別適用于長行程測量。
? 微調/粗調立柱兩側的加緊裝置,進行
聚焦和測量。
? 調零開關 (X 軸和 Y 軸) 也位于操作臺手柄
的附近。
? 可將 Vision Unit 升級為視像測量系統。
性能參數
XY 工作臺移動范圍 50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 軸移動范圍 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
調焦方式 手動調焦 (粗調焦:10mm/rev、微調焦:0.1mm/rev)
測量方法 線性編碼器 (2 軸型:X / Y 軸、3 軸型:X / Y / Z 軸)
分辨率 (可轉換) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
測量精度 (20oC 時) XY 軸:(2.5 0.02L)μm, L 為無負載測量長度 (mm), JIS B 7153
指示精度 (20oC |