DBC陶瓷敷銅燒結爐/氧化爐 |
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關鍵字:退磁爐,固溶爐,實驗氣氛爐,回火爐,井式爐,淬火爐 dbzzDBC陶瓷敷銅燒結爐/氧化爐 DBC直接覆銅陶瓷基板采用DBC工藝制作,DBC英文簡稱是”Direct Bonding Copper”,直接覆銅陶瓷基板的意思。DBC陶瓷覆銅基板是采用陶瓷粉體如氧化鋁,氮化鋁,或者摻雜氧化鋯,經過流延,燒結制成陶瓷基板,然后進行金屬化,制備成陶瓷覆銅板。 直接覆銅(DirectBond Copper,簡稱DBC)陶瓷基板是一種將高絕緣性的氧化鋁(Al2O3)或氮化鋁(AlN)陶瓷基板覆上銅金屬的新型復合材料。經由高溫1065~1085℃的環境加熱,使銅金屬因高溫氧化、擴散與陶瓷產生共晶熔體,使銅與陶瓷基板黏合,形成陶瓷復合金屬基板;然后根據線路設計菲林貼膜曝光顯影,通過蝕刻方式備制線路基板。 主要應用于功率半導體模塊封裝、制冷器及高溫墊片。 本設備主要用于陶瓷覆銅箔在N2或N2、O2混合氣氛條件下的高溫氧化、燒結等高溫熱處理等,具體說明如下: 1額定溫度:1100℃;更高溫度:1150℃ 2有效高度:80mm 3網帶寬度:200mm 4網帶材質:SUS314 5更大負載:50Kg/m2(不含網帶自重) 6爐膛結構:采用大爐腔結構和厚10mm SUS310S馬弗爐管結構 7傳動系統:大包角摩擦傳動 8調速范圍:25150mm/min,變頻無級調速 9加熱元件:陶瓷棒外繞高溫合金絲(進口KANTHAL加熱絲) 10燒結氣氛:氮氣+氧氣 |
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