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電產 品的發展趨勢 小型非球 面超精 密數控車床未來市場 預測等問題作了簡述 , 也對小型超精密 采 用 香 港 理 工 大 學 和 哈 爾濱 工 業 大學 控制算 法采用穩定 性好 !可靠性高前 饋 加P I D 控 制 方法 , 編 程 分 辨 率達 到 I n m !插 補 周期 小于 lm s !控 制 周期 小 車床突破超精密機床的構成 !關鍵技術 ! 性能指標等內容進行了簡單介紹 " 并闡 述 國內研究開發超精密數控車床 已經 具 有 一定 基礎 , 國 內小 型非 球 面光 學零 已經開發了基于N a n o fo rm 20 0 超精密 車 床的誤差補償軟 件( 補 償后的加工 精度可 以提高5 0 % ) " ( 8 ) 多軸 數 控 系統 :我 院 已 經開 發 成 功 了一 套 基于R T L 1n u x 的開 放式 多 軸 數 控 系 統 , 該 數 控 系統 基 于 P C 機 和 P M A C 運 動 控 制板 的 主 從 式 硬 件 結 構 , 該 數 控 系統 基 于P C 機 和 P M A C 運 于0 . l m s 口 此外, 針對超精密加工特 點 , 在 傳 統 控 制 算 法 的 基礎 上 , 采 用 交 叉禍 合 控制 ! 最 優 預見 控 制 ( O P C ) !逆 件加工的超精密車床的需求迫切 " 補償濾波器( I K F ) 控制等方法, 可 以 較 大地提高 跟蹤精度 "
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